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日立掃描電子顯微鏡

日立掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品介紹

日立掃描電子顯微鏡

SU8600

高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

*設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。

 

SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場成像技術(shù),同時(shí)還提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。

 

特點(diǎn)

*高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下,也可獲得高分辨的圖像。

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;

在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。

快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時(shí)間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.

自動(dòng)化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后,該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存,實(shí)現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。

 

日立掃描電子顯微鏡

技術(shù)參數(shù)

機(jī)型

SU8600 系列

電子光學(xué)系統(tǒng)

二次電子像分辨率

0.6 nm@15 kV

0.7 nm@1 kV *

放大倍率

20 to 2,000,000 x

電子槍

冷場發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統(tǒng)。

加速電壓

0.5 to 30 kV

著陸電壓 *

0.01 to 20 kV

探測器

(部分為選配項(xiàng))

上探測器(UD)

UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能

下探測器(LD)

頂探測器(TD)

TD能量過濾器

鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(IMD)

半導(dǎo)體式背散射電子探測器 (PD-BSED)

新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)

陰極熒光探測器(CLD)

掃描透射探測器(STEM Detector)

附件

(部分為選配項(xiàng))

導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)

軟件

(部分為選配項(xiàng))

EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下)

樣品臺(tái)

馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸

5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)(X/Y/R/Z/T

馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸

X0~110 mm

Y0~110 mm

Z1.5~40 mm

T-5~70°

R360°

樣品室

樣品尺寸

直徑可達(dá):150 mm

*減速模式下


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